光学计量笔记
Optical Metrology Notes
光学计量与半导体检测方向的技术笔记：白光干涉、TSV 深度测量、膜厚反演，以及 Zemax / Python 仿真。每篇都从原理出发，数字来自可复现的代码，并说明哪里容易出错。
笔记
白光干涉的光谱域深度测量：从光谱到深度谱
Spectral-domain white-light interferometry, from spectrum to A-scan
一条光谱怎么变成深度？从干涉光谱的数学形式出发，推出分辨率与量程公式，给出完整的处理流程和可运行的 Python 代码，并说明为什么必须先重采样到均匀波数。
探头里的固定深度伪影：薄层标准具与混叠
Fixed-depth ghost peaks from thin layers, and aliasing
深度谱里有个峰，换样品、移动样品都不动，那它几乎一定是光学系统内部某一对反射面的干涉。本文讲怎么算出它的位置、怎么确认、怎么压制，以及远处反射为什么会折回来变成假峰。
单层膜反射谱与膜厚反演：从 FFT 初值到模型拟合
Single-layer reflectance and film thickness retrieval
反射谱里的条纹怎样变成膜厚？先写正向模型，再用 FFT 给初值、最小二乘精修。厚膜有条纹可以 FFT，薄膜没有条纹只能拟合；而"拟合得好"不等于"厚度对"，折射率的系统误差会悄悄带进结果。
TSV 深度的白光干涉测量：原理、极限与误差来源
Through-silicon-via depth by white-light interferometry
深而窄的孔，光进得去、出得来吗？本文从光程到几何深度的换算出发，用两个简单的估计（衍射极限和数值孔径偏差）说明深宽比为什么是难点，并列出误差来源。数值为数量级估计，使用前请用参考方法对标。
用 ZOS-API 在 Zemax 非序列模式里仿真马赫–曾德尔干涉条纹
A Mach–Zehnder interferometer in OpticStudio non-sequential mode, driven from Python
非序列模式可以算真实的相干干涉条纹，但有三个地方做错就一片均匀：光源必须准直、分束镜必须是带材料的玻璃实体、相干辐照度必须用 Detector Viewer 读。附解析参考值和排障表。